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  2. 產品中心

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    主動隔振系統

    簡要描述:STACIS IIIc是STACIS III高級主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

    • 產品型號:STACIS IIIc
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2021-06-11
    • 訪  問  量:1385
    詳細介紹

    主動隔振系統

    概述

    STACIS IIIc是STACIS III高級主動隔振平臺系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

    STACIS IIIc非常適合在沒有或地板很低的活動地板上使用,因為標準STACIS III系統的高度會使儀器過高。

    在三隔離器配置中,隔離器高度小于常規STACIS III高度的60%。在具有3個以上隔離器的系統中,高度將在60%到70%之間,具體取決于有效負載設置。有關詳細信息,請參見下面的規格。

    STACIS IIIc優勢

    與常規STACIS III系統相比,隔離器高度多降低42%,而性能卻沒有降低。

    STACIS比空氣隔振器堅固數百倍,沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟”懸架,與主動空氣系統不同,STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方,使兩個系統都在良好狀態下運行。

    *的串行設計和專有的高力壓電技術 
    可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的主動隔振性能。

    性能

    4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C

    (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

    性能規格

    規格

    主動自由度

    6

    主動帶寬

    0.6 Hz - 150 Hz

    被動固有頻率

    18 Hz垂直和水平

    有效的主動共振頻率

    0.5 Hz

    1 Hz時的隔振

    40% - 70%

    ≥2 Hz時的隔振

    ≥90%

    10磅(4.5千克)步進輸入后的穩定時間

    (減少10:1)

    0.3

    內部噪音

    <0.1 nm RMSd>

    每個隔振器的工作負載范圍

    低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
    中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
    高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)

    剛度(1000磅/454千克質量、中等承重能力隔振器)

    40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)

    從距離隔振器大4英寸(102毫米)處發射的磁場

    <0.02 μG broadband RMSd>

     

    隔振器設計、尺寸、環境和效用要求

    環境和安全

    符合CE和RoHS標準

    主動隔振元件

    小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷

    被動隔振元件

    單個硬質各向同性彈性體(無需壓縮空氣源)

    振動傳感器元件

    向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測量隔振器下方的地面振動,并提供與振動運動速度成正比的電壓

    主動反饋控制回路

    在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動

    隔振器尺寸(寬x深x高)

    14.45 x 14.26 x 6.16* in.

    367 x 362 x 157* mm

     

    * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.

    隔振器重量

    53磅(24千克)

    工作溫度

    50° - 90° F
    10° - 32° C

    儲存溫度

    -40° - 130° F
    -40° - 55° C

    濕度

    30 - 60%

    系統電源要求

    100、120、230、240 VAC
    50/60 Hz AC; <600 W
    符合CE標準

    地面位移

    <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>

    每個系統的隔振器數量

    至少3個

    可選附件

    層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩

     

    DC-2020控制器規格

    尺寸(寬 x 深 x 高)

    19 x 8.5 x 1.75英寸
    483 x 216 x 45 mm

    重量

    6.3磅(2.9千克)

    處理器

    150/75 MHz雙核

    采樣率

    10 kHz

    模擬輸出

    16個通道

    模擬輸入

    16個通道

    狀態燈

    單個LED

    前面板端口

    1個串行USB 2.0
    1個串行Micro-USB
    1個以太網RJ-45
    2個BNC

    后面板端口

    1個串行USB 2.0
    1個以太網RJ-45
    1個RS-232 DB-9傳統串行,用于傳統的STACIS 2100隔振器

    用戶界面

    前面板液晶顯示屏
    超級終端上的字符菜單
    適用于Microsoft Windows的擴展GUI
    嵌入式以太網GUI

     

    STACIS用戶及應用領域

    1、微電子、半導體

    ●晶片檢測

    ●顯微光刻技術

    ●掩膜校準

    2、科學研究、納米技術

    ●SEM、TEM

    ●STEM、SPM

    3、激光臺

    ●生命科學、藥物研發

    4、工業應用

    ●精密加工

     

    為什么要選擇主動系統?

    ●從<1Hz開始強烈消除地面震動,氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振

    ●提高質量、生產量

    ●更加細小特色的成像能力

    ●前沿研究

    ●比氣動平臺更穩定

    ●滿足SEM標準地點安裝參數的解決方案

    ●使得新實驗室及研究設備的工程造價更低

     

    主動系統為何選擇STACIS

    ●正中了科研者的的心聲,提供了盡可能低的無震環境。

    ●市場上強勁的低頻隔振系統。

    ●目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求,其需要的震動參數需要主動隔振平臺才能滿足。

    ●STACIS*發明于1990s,經TMC進一步發展,開發和安裝了數以千計的主動隔振系統,這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。

     

    STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍

    穩定時間作為對擾動的響應,由于*的串聯式設計,而大大縮短,理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。

     

    如下優勢在業內都是的

    ●STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

    ●6個自由度的主動震動消除,在1Hz時隔振8-10dB 

    ●從2-3Hz時,隔振可達90% (20dB) 

     

    專業的環境調查

    1、安裝前后的環境調查,包括震動、磁場、聲波

    2、安裝后可提供環境系統體系認證

    ●完善的環境調查服務

    ●開具專業環境報告

    ●提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案

    ●TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案 

    ●40多年的行業經驗

     

    應用照片

     


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