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    主動隔振系統Stage-Base 450

    簡要描述:TMC繼續在先進技術的基礎上開發新的解決方案,以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。主動隔振系統Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主動消振系統。

    • 產品型號:Stage-Base 450
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2020-07-11
    • 訪  問  量:636
    詳細介紹

    主動隔振系統Stage-Base 450

    概述

    TMC繼續在先進技術的基礎上開發新的解決方案,以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。主動隔振系統Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主動消振系統。這些工具不但需要極其有效的消振性能,它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非??焖俚胤€定,以大限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM,可以縮短穩定時間,進一步提高吞吐量,從而為移動平臺應用提供*先進的主動振動和運動消除系統。

    Stage-Base 450優勢

    Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術。只有TMC可以提供這種*的高級低頻消振串行型技術,通過使用音圈電機(VCM),實現了主動移動平臺運動消除。

    Stage-Base 450下一代主動控制系統采用TMC的STACIS技術,使用壓電致動器和串行式架構中的剛性懸架實現了*越的消振。這實現了始于0.6 Hz的業內*地面隔振,響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。

    規格

    ●采用*的STACIS®技術

    ●采用高力、加長行程的壓電致動器

    ●有效載荷的位置可重復性在微米以內

    ●框架安裝設計

    ●6個主動自由度

    ●可選的VCM前饋和/或反饋

    ●始于0.6 Hz的主動隔振

    ●響應平臺運動的快速穩定時間

    ●無軟空氣懸架

    ●通過USB 2.0實現基于PC的圖形用戶界面(GUI)的高速數字控制器

    ●簡單、堅固且經濟高效

     

    性能

     

    應用照片

     

     

     

     


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