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  2. 產品中心

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    主動磁場消除

    簡要描述:主動磁場消除-亥姆霍茲型配置采用獨立式籠,安裝在室內墻壁軌道上或直接安裝在外殼內部,可根據您的需求和應用配置Mag-NetX。

    • 產品型號:Mag-NetX
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2020-07-12
    • 訪  問  量:514
    詳細介紹

    主動磁場消除

    概述

    Mag-NetX設計用于任何帶電束儀器,是一種創新的主動控制系統,可補償磁場波動。通過帶數字接口的模擬控制器,Mag-NetX具有更實時的消振和連續監控功能,同時為用戶提供了一個簡單的內置LCD或基于PC的圖形用戶界面(GUI)。通過連續監控GUI顯示的測量字段,可在不依賴于顯微鏡圖像的情況下進行微調。另外,自動調整使典型SEM應用的啟動變得更加簡單。

    亥姆霍茲型配置采用獨立式籠,安裝在室內墻壁軌道上或直接安裝在外殼內部,可根據您的需求和應用配置Mag-NetX。

    TMC可滿足您的掃描和透射顯微鏡、電子束光刻和離子束儀器在磁場補償和振動控制方面*苛刻的要求。

     

    Mag-NetX的優勢

    帶數字接口的模擬控制器 - 亥姆霍茲型線圈的模擬控制可實現更精確的實時消振。數字面板為用戶提供簡單的LCD讀數或基于PC的圖形用戶界面(GUI)。

    現場調整的靈活性 - 在啟動時針對典型環境和應用進行自動調整,或針對更具挑戰性的環境進行可調的現場調整。

    實時監控 - 通過計算機GUI顯示的測量字段進行連續監控,甚至可在不依賴于顯微鏡圖像的情況下進行微調。

     

    特點

    ●亥姆霍茲線圈對具有大的對稱性和均勻性

    ●連續現場消振和監控

    ●有多種交流和直流消振模式

    ●100倍現場改進(典型值)

    ●動態、100 μs響應

    ●精確的現場測量

    ●具有連續系統監控和分析的圖形用戶界面

    ●可選的線路頻率和諧波的前饋補償

    ●可選的其他輸入前饋功能

    ●可選的自定義字段創建,同時抑制干擾

    ●易于組裝的不銹鋼籠,也可提供室內壁安裝式系統

    ●可提供任何尺寸的籠系統

    ●壁安裝式和外殼安裝式配置包括阻燃級電纜

     

    性能

     

     
      

    規格

    系統

    系統組件

    3軸正交磁傳感器、Mag-NetX控制器、籠內亥姆霍茲線圈對、外殼安裝或壁安裝式配置

    主動磁場消除

    X、Y、Z

    傳感器類型

    磁通門型,噪聲 <10 pT/>基數;Hz @ 1 Hz

    大環境直流場(取決于傳感器)

    ±70 μT標準
    可提供高達±250 μT

    帶寬(取決于籠和傳感器)

    直流,1 kHz典型值,*可達2 kHz

    動態范圍(取決于籠和頻率)

    典型值±10 μT,*±100 μT
    典型值40 dB,大55 dB

    控制體積與磁場磁通密度

    50 m3 @10 μT RMS(取決于籠參數)
    1 m3 @ 50 μT RMS(標準控制器能夠通過特殊的籠結構消除地球磁場)
    10 m3 @ 50 μT RMS(用于通過特殊的籠和外部放大器來消除更大體積的地球磁場)

    傳感器位置的場減少率
    使用36 x 36 x 52英寸/
    91 x 91 x 132厘米(長 x 寬 x 高)的典型籠;

    直流100 Hz時的40 - 50 dB(100x - 300x)典型值
    100-500 Hz時的26 dB(20x)典型值

    典型電子
    顯微鏡柱體積
    12 x 12 x 24英寸/30 x 30 x 60厘米中的場減少率
    使用60 x 60 x 84英寸/
    152 x 152 x 213厘米(長 x 寬 x 高)的籠

    X、Y:直流100 Hz時的30 dB(32x)典型值
    X、Y:100-500 Hz時的20 dB(10x)典型值
    Z:直流100 Hz時的15 dB(5.2x)典型值
    Z:100-500 Hz時的10 dB(3x)典型值
    0 dB @ 1000 Hz

     

     

    控制器

    尺寸

    17 x 9 x 1.75英寸/43 x 23 x 4.5厘米

    操作模式

    通電后:

    ●自動自檢/校準,并在1分鐘內切換到控制模式。無需用戶參與。

    ●手動測試/調試模式

    ●真正的直流模式(補償地球磁場)

    ●偏置直流模式(忽略地球磁場)

    ●跟蹤顯微鏡運動零件引起的直流漂移

    ●準直流模式(忽略> 100秒波動)

    ●取消和創建(同時取消干擾和創建自定義字段)

    控制工具的類型

    ●數字控制增益的模擬反饋,DC - 2 kHz

    ●數字反饋

    ●數字前饋(取消交流線路電源頻率和諧波,而沒有反饋的增益穩定性限制)

    狀態LED指示燈

    綠色=正常;黃色=警告/錯誤

    LCD 2x20符號顯示

    顯示菜單和狀態

    條形LED指示燈

    顯示XYZ補償場的實時強度

    4個方向按鈕

    用于LCD菜單導航

    USB插槽

    (在PC上顯示為COM端口)

    用于高級調整/測試的圖形用戶界面,接受ASCII命令和顯示菜單

    輔助模擬輸入端(后DB-37)

    可以用作前饋或創建自定義字段

    通行和不通行信號繼電器

    二進制,用作受保護系統的輸入端

    電源要求

    90-240 VAC,50/60 Hz,大500 VA。

     

    亥姆霍茲線圈籠配置

    柱安裝式亥姆霍茲線圈

    安裝在柱上的亥姆霍茲線圈很容易適應SEM柱,但這對TEM來說卻不切實際。

    地面安裝式亥姆霍茲線圈

    地面安裝式亥姆霍茲線圈可用于SEM和TEM。

    0

    腿架上的亥姆霍茲線圈

    亥姆霍茲線圈可以安裝在TMC腿架上。

    亥姆霍茲線圈壁裝式配置

    壁安裝式線圈是安裝在房間中心附近的TEM和SEM的柱和地面安裝式線圈的實用替代品。

    1、特殊設計可安裝在被動屏蔽室內

    2、兩件式防篡改PVC額定功率通道裝有直接安裝在墻壁上的亥姆霍茲型電纜

    3、具有獨立X-Y-Z引線的低噪聲DC-5 kHz磁通門傳感器是標準配置;還有多種傳感器和傳感器配置可供選擇

    4、適用于所有壁安裝式室內系統的阻燃電纜

    5、用于門檻的鋁蓋,可在現場切割和修剪到適當的尺寸

    6、PVC或鋁地板門檻,可在需要時分隔大型房間

    控制器和傳感器

    典型的傳感器安裝方式

    應用說明

    Mag-NetX®

    蔡司Auriga FIB-SEM在使用帶Mag-NetX®的SEM-Base®之前和之后的圖像

    Mag-NetX®

    Bartington Instruments的磁力計用于消除磁場和自定義創建磁場

     

    應用照片

     


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